PRODUCT

  • [MFC, VAC, Gasket외] Lindberg Tube Furnace CVD System

    Lindberg Tube Furnace 에 고객 사양에 맞추어 후드시스템 내에 각종 MFC 가스라인, Vacuum을 설치하여 사용이 편리하고 깔끔하게 설치되었습니다.

    시스템제작

    한국화인썸 주식회사

제품사양

시스템 구성

 

1. Main-Body

  Lindberg/Blue M 1200 Split-Hinge Tube Furnace

 

2. Temperature & Atmosphere Control System

   Inert Gas : Ar, Ar 95%+H2 5%

 

3. Vacuum System

 

4. Tube Sealing System

   

  

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