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  • [화학기상증착시스템] Lindberg/blue M mini-mite tube furnace system

    3대의 장비를 테이블 일체형으로 제작하여 MFC, Vacuum 등을 컨트롤할 수 있도록 제작된 장비로 협소한 공간에 장비의 효율적 배치로 원하는 공정으로의 실험을 가능케 합니다.
    내부 결선상태 배관상태를 쉽게 육안으로 확인이 가능하며 기타 필요한 사양을 쉽게 추가가 가능하도록 설계되었습니다.

    시스템 제작

    한국화인썸(주)

    Option 1

    멀티가스 (MFC gas )

    Option 2

    진공 (Vacuum Control)

    Option 3

    Standard Accessories (Tube, Tube Gasket)

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