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  • [CVD System] Lindberg/Blue M mini-mite Tube Furnace System

    린드버그 튜브로를 메인으로 하여 H2, Ar 가스 및 진공을 사용할 예정으로 추가로 정밀한 조절이 가능하도록 디지털 압력게이지 및 기타 게이지를 테이블 시스템에 함께 장착하였습니다.
    공간이동의 번거로움없이 일체형 컨트롤이 가능하도록 설계 제작하였습니다.

    시스템제작

    한국화인썸(주)

    Option 1

    멀티가스 (MFC Controller & Readout Control)

    Option 2

    진공시스템 (Vacuum System) 외 게이지

    Option 3

    탁상형 테이블(Atmosphere System Table)

    Option 4

    튜브 및 튜브가스켓

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