PRODUCT

  • [CVD System] 1100 Mini-mite Tube Furnace with Control Console

    최대 1100도 1인치 전용 튜브로 Linddberg/Blue M Mini-mite를 메인으로하여, 추가적으로 MFC System 및 진공 시스템, Manometer Gauge및 압력 컨트롤러를 함께 장착하여 하나의 컨트롤 박스로 MFC, 진공, 압력측정 및 제어를 가능케하였습니다.

    시스템 제작

    한국화인썸

    Option 1

    MFC System - 2 CH

    Option 2

    Vacuum System

    Option 3

    Pressure Control System

    Option 4

    Tube & Tube Sealing System

제품사양



-Max Temperature : 1100℃
-Using Gas : N2, O2

-Vacuum & Pressure Control System   

-Quartz Process Tube : 25 X 700 mm

-Heating Length : 300 mm
-Temp Control : 5 programs with 16 segment per program

 

 

 

 

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