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30파이 튜브에 MFC를 연동해 원하는 진공 및 분위기 조건에서 실험 공정이 가능하도록 시스템을 구성하였습니다. 별도의 컨트롤 박스를 제작해 사용과 이동이 편리하며, 버블러 배관 작업 등도 탁상에서 안전하게 수행할 수 있도록 일체형 시스템으로 구현하였습니다.
MFC & MFC Controller
Tube Sealing Gasket System
Vacuum Control System
제품사양

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